设计最适化
由Local search、Global search、Needle search三种最适化手法中选取实行最适化。
(1) Local search
使用Levenberg-Marquardt法,借着边变更膜厚边找寻最适当解析。
(2) Global search
Simulated Annealing Method法与Levenberg-Marquardt法组合的手法,在local search的途中,将膜厚随意变更、避免陷入非本来解的局部解结果。
(3) Needle search
插入针状的薄层,让多层膜成长,藉此搜寻解。
手动mode
手动mode,用鼠标将图表上的特性拖曳变更形状,使用那个能使之变形的local search进行最优化的新类型最优化方法。
波长、入射角的3D图表显示
等高线显示。回转、zoom可以。
制造误差解析
某层的膜厚、折射率、吸收系数的误差,于调查会对光学特性会造成多少程度影响时及调查设计值与实际成形薄膜的光学特性的乖离发生在哪一层时 (Mismatch解析)、及依据Monte Carlo simulation调查制造变异时(制造误差解析)使用。
由单层膜的测定数据来对n・k的分散做解析
根据画面选择、输入,就可的到解析结果。
不均匀
不均匀(折射率斜面)设定
反面测的特性
可以同时观察有吸收的膜的表面侧、反面侧的特性来做设计。
两面的合计特性
平行边面基板的两面(又或单面)附着于膜时的合计特性。
分光亮度计测定资料
读写分光亮度计测定文件夹,将可显示于坡长曲线图。 既可将使用分光亮度计分光亮度计测定的数据与设计值放于同一曲线图做比较。
周期层
可设定周期层内的膜厚倍率。
光学式蒸镀监控
可由以下3种测光方式中选择。
1. 反面反射测光, 2. 表面反射测光, 3. 透过测光
电场强度分布
可选择欲显示的偏光种类。(x, y, z)
颜色计算
添加对应的光源种类。
对应A, B, C, D50, D55, D65, D75, E, F1, F2, F3, F4, F5, F6, F7, F8, F9, F10, F11, F12, ID50, ID65的各种光源。
添加色差: CIE2000
其他
添加繁体中文
866基板data为事先预设。SHOTT, OHARA, HOYA, SUMITA, HIKARI, CDGM(成都光明), 其他。
The quotation origin of all materials was described.
Add the converting the optical thickness and physical thickness.
Add the changing the center wavelength.
Add the Inversing the layers.
etc.
错误修复
Calculation mistake of the stop value in evaporation control when the thickness is optical thickness and the Evp-dn is not zero was fixed.
Color difference calculation mistake of dH* and dE94 were fixed. The sign of dL* and dC* were fixed.
Calculation mistake of the electric field intensity in p-polarization was fixed.